乙硼烷

产品介绍

乙硼烷是最简单的硼烷，无色气体，有特臭，化学式为B2H6，分子量为27.67。易溶于二硫化碳。化学性质活泼，能与氨、甲醇、乙醛、乙醚及锂、钠、钾、钙、铝等金属激烈反应。在室温干燥状态下一般不燃烧，与潮湿空气接触，即使在低温也能发生爆炸性燃烧，产生绿色火焰。在室温下也能分解，分解产物随温度高低而变化，到500℃时完全分解成氢和硼。有剧毒。
产品用途：用作高纯度硼单晶及十硼氢的原料，是半导体制造中用作硅材料的p型掺杂源，在半导体工业中得到广泛应用，用于半导体生产，硅和锗的外延生长、钝化、扩散和离子注入。可用作火箭和导弹的高能燃料，也用于制药、金属焊接和有机合成等领域。

 

常见工艺路线

工业上乙硼烷制备通常是在真空条件下，以氢化钠、三氟化硼为原料，在有机溶剂中反应制得粗品，再经冷凝提纯等工艺得到高纯产品，副产物为氟化钠。乙硼烷其他制备方法还有：以硼氢化钠、硫酸为原料反应制得；以四氢硼酸钾、磷酸为原料反应制得等。

市场发展趋势分析  

乙硼烷可用作掺杂源，用于半导体产业中；用作高能燃料，用于火箭、导弹制造中；用作有机合成原料，用于化工产业中；用来制备高纯度硼单晶；还可用于制药、金属焊接等领域。其中，半导体产业是乙硼烷的重要下游市场。
根据新思界产业研究中心发布的《2021-2025年乙硼烷行业深度市场调研及投资策略建议报告》显示，硅晶圆加工需要采用电子特气、湿电子化学品进行清洗、光刻、蚀刻、外延、掺杂等工艺，掺杂是指引入特定元素来增强硅晶圆的电学性质，可采用离子注入、氧化扩散方法，硼掺杂是主要掺杂工艺之一，是在硅晶圆中掺入乙硼烷、三氟乙硼等元素，主要用来制造P型半导体。除掺杂外，乙硼烷还可用于硅、锗外延生长方面。
在全球市场中，美国Voltaix是技术水平最高、生产规模最大的电子级乙硼烷生产商，2013年被法国液化空气集团收购。乙硼烷稳定性较差，长途运输难度较大，在我国半导体产业规模持续扩大的背景下，我国乙硼烷自主生产需求迫切。保定市北方特种气体有限公司是我国率先实现高纯乙硼烷量产的企业，我国乙硼烷生产商还有太和气体（荆州）有限公司等。
新思界行业分析人士表示，除国内企业外，受市场前景吸引，国外气体生产商也在国内建设乙硼烷工厂。2017年，日本大阳日酸在江苏扬州新建特殊气体工厂，用来生产半导体制造用气体乙硼烷。我国乙硼烷行业规模在不断扩大，但目前能够量产的企业数量依然较少，由于有毒、稳定性差、危险系数高，乙硼烷生产对企业的技术、资质等要求高，不具备一定实力的企业难以进入布局。

生产企业 

太和气体（荆州）有限公司
保定市北方特种气体有限公司