三甲基硅烷

产品介绍

三甲基硅烷（简称3MS）常温常压下为无色气体。分子式为C3H10Si，分子量为74.197。沸点6.7℃，易燃，遇明火、高热或与氧化剂接触，有引起燃烧爆炸的危险。受热或遇水分解放热，放出有毒的腐蚀性烟气。具有腐蚀性。对呼吸道、眼睛、皮肤粘膜有强烈刺激性。
产品用途：三甲基硅烷近年来作为半导体领域中的层间绝缘膜、作为成膜原料，其用途逐渐扩大。

 

常见工艺路线

氢化铝钠通过加料口投入配制釜中，然后加入甲苯溶解氢化铝钠，打开搅拌，半小时后，将三甲基氯硅烷缓慢加入反应釜，控制反应釜压力和温度。反应结束后，生成的三甲基硅烷经过5A分子筛吸附处理过后进入三甲基硅烷粗品收集罐，然后精馏提纯得到纯品三甲基硅烷。

市场发展趋势分析  

三甲基硅烷属于硅系气体，纯度高、杂质含量低的高纯三甲基硅烷是一种电子气体，可以应用在半导体产业中。三甲基硅烷可作为先驱气体，采用化学气相沉积法（CVD）来制备薄膜，可以应用在蚀刻硬掩模、沉积碳掺杂含硅膜、沉积碳化硅薄膜等领域。随着电子产业规模持续扩大，半导体领域对电子气体的需求不断上升，三甲基硅烷市场随之不断增长。
2020年，全球电子气体市场规模约为59.2亿美元。全球电子产业规模仍在不断扩大，已有产品更新迭代速度加快，新型产品不断研发问世，半导体市场发展势头依然强劲，将继续拉动电子气体需求上升。预计2020-2025年，全球电子气体市场将以6.6%左右的年均复合增速增长，到2025年市场规模将达到81.4亿美元左右。三甲基硅烷作为电子气体的一种，拥有良好发展空间。
我国电子特气起步较晚，目前外资在产品质量和产业规模上仍具有较大优势，数据显示，2018年我国电子特种气体市场中88%的市场份额为外资所垄断，其中德国林德集团、美国空气化工集团、法国液化空气集团、日本大阳日酸株式会社，四大集团占据全球电子特气90%以上的市场份额，形成寡头垄断格局。尽管与国际气体公司相比，国内气体公司在资金、技术、设备等方面仍有差距，但在技术不断突破、国家政策大力扶持、下游市场发展迅速等多重因素影响下，加上国内企业拥有的国际企业无法比拟的低成本、贴近客户、反应灵活等优势，国内气体企业的竞争力不断增强。根据亿渡数据统计，2020年我国电子特气企业市占率已提升至15%。
特种气体作为半导体、显示面板、光伏能源领域的关键性材料，近年来特气行业得到国家政策的大力支持，国家发改委、科技部、工信部和财政部等多部门相继出台多部新兴产业相关政策，均明确提及并部署了气体产业的发展，并且对于特种气体确立了其新材料产业属性，有力推动了气体产业的发展。随着公司围绕氢气为核心的产能不断扩大，逐步实现硅烷等电子特气的国产替代，特气公司将受益于电子特气国产替代趋势以及下游新能源、半导体需求的持续旺盛。

生产企业 

太和气体（荆州）有限公司

沁阳国顺硅源光电气体有限公司